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 產(chǎn)品名稱：XYZ直線電機(jī)滑臺(tái) 產(chǎn)品概要： -- 直線軸XYZ納米級(jí)定位精度； -- 精密交叉滾柱導(dǎo)軌。 -- 主體鋁合金材質(zhì) 產(chǎn)品精度： -- XY軸重復(fù)精度±100nm -- Z軸重復(fù)精度±200nm |  產(chǎn)品名稱：XYθ平臺(tái) 產(chǎn)品概要： -- 直線軸XY+旋轉(zhuǎn)軸θ電機(jī)平臺(tái)； -- 小行程精密運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合； 產(chǎn)品精度： -- XY軸重復(fù)精度±0.5μm -- θ旋轉(zhuǎn)軸精度±2.5arcsec |  產(chǎn)品名稱：耦合平臺(tái) 產(chǎn)品概要： -- 直線軸XYZ+旋轉(zhuǎn)軸ABC共6軸電機(jī)平臺(tái)； -- 適用光纖耦合； 產(chǎn)品精度： -- XYZ軸重復(fù)精度0.3μm -- ABC旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)精度±1.5arc sec |
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